Хадгаламж
Мэдлэг олж авч, хөгжлийн үйл явцыг хурдасгана.
Нарийвчилсан эрчим хүч нь нимгэн хальс үүсгэх чухал хэрэглээ болон төхөөрөмжийн геометрийн цахилгаан хангамж, хяналтын шийдлүүдийг нийлүүлдэг.Өргөст ялтас боловсруулах сорилтуудыг шийдвэрлэхийн тулд бидний эрчим хүчийг хувиргах нарийн шийдлүүд нь эрчим хүчний нарийвчлал, нарийвчлал, хурд, процессын давтагдах чадварыг оновчтой болгох боломжийг танд олгоно.
Бид RF-ийн өргөн хүрээний давтамж, тогтмол гүйдлийн эрчим хүчний систем, тохируулсан цахилгаан гаралтын түвшин, тохирох технологи, шилэн кабелийн температурын хяналтын шийдлүүдийг санал болгодог бөгөөд энэ нь танд процессын плазмыг илүү сайн хянах боломжийг олгодог.Бид мөн Fast DAQ™ болон өгөгдөл цуглуулах, хүртээмжтэй багцыг нэгтгэж, үйл явцын талаарх ойлголтыг өгч, хөгжүүлэлтийн процессыг хурдасгадаг.
Таны хэрэгцээнд тохирсон шийдлийг олохын тулд манай хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн үйл явцын талаар илүү ихийг мэдэж аваарай.
Таны сорилт
Нэгдсэн хэлхээний хэмжээсийг загварчлахаас эхлээд дамжуулагч ба тусгаарлагч хальс (цахилгаан байгууламж), металл хальс (харилцан холболт) хүртэл таны хуримтлуулах үйл явц нь зөвхөн шинж чанар тус бүрээр төдийгүй бүхэл хавтангийн атомын түвшний хяналтыг шаарддаг.
Бүтэцээс гадна таны хадгалсан кинонууд өндөр чанартай байх ёстой.Тэдгээр нь хүссэн ширхэгийн бүтэц, жигд, зохицсон зузаантай байх ёстой бөгөөд хоосон зайгүй байх ёстой бөгөөд энэ нь шаардлагатай механик ачаалал (шахалтын болон суналтын) болон цахилгаан шинж чанарыг хангахаас гадна юм.
Нарийн төвөгтэй байдал улам бүр нэмэгдсээр байна.Литографийн хязгаарлалтыг (1X нм-ээс доош зангилаа) арилгахын тулд өөрөө тэгшлэх давхар болон дөрвөлжин хэв маягийн техник нь өрөм болгон дээр хэв маягийг гаргаж, хуулбарлахын тулд таны буулгах процессыг шаарддаг.
Бидний шийдэл
Хамгийн чухал хуримтлуулах програмууд болон төхөөрөмжийн геометрийг ашиглах үед танд найдвартай зах зээлийн удирдагч хэрэгтэй болно.
Advanced Energy-ийн RF-ийн цахилгаан дамжуулах болон өндөр хурдтай тааруулах технологи нь PECVD болон PEALD бүх дэвшилтэт хуримтлуулах процесст шаардагдах эрчим хүчний нарийвчлал, нарийвчлал, хурд, процессын давтагдах чадварыг өөрчлөх, оновчтой болгох боломжийг танд олгоно.
Өөрийн тохируулж болох нумын хариу урвал, эрчим хүчний нарийвчлал, хурд, процессын давтагдах чадвар, шаардлагатай PVD (цүрхэх) болон ECD хуримтлуулах процессыг нарийн тааруулахын тулд манай DC генераторын технологийг ашиглана уу.
Ашиг тус
● Плазмын тогтвортой байдал, процессын давтагдах чадварыг сайжруулснаар гарц нэмэгдэнэ
● Бүрэн дижитал удирдлагатай RF ба DC-ийг нарийн хүргэх нь процессын үр ашгийг оновчтой болгоход тусалдаг
● Плазмын өөрчлөлт болон нумын удирдлагад хурдан хариу үйлдэл үзүүлэх
● Дасан зохицох давтамжийн тохируулгатай олон түвшний импульс нь сийлбэрийн хурдыг сонгох чадварыг сайжруулдаг
● Хамгийн их ажиллах хугацаа, бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг хангахын тулд дэлхийн хэмжээнд дэмжлэг үзүүлэх боломжтой