MSB цуврал дунд давтамжийн цацах цахилгаан хангамж
-
MSB цуврал дунд давтамжийн цацах цахилгаан хангамж
RHH цувралын RF-ийн цахилгаан хангамж нь хэрэглэгчдэд илүү их хүч чадал, өндөр нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл үзүүлэх RF-ийн тэжээлийн хангамжийг хангахын тулд боловсорсон RF үүсгэх технологид тулгуурладаг.Фазын тусламжтайгаар импульсийг хянах, дижитал тааруулах болон бусад функцуудыг тохируулах боломжтой.Холбогдох салбар: фотоволтайк үйлдвэрлэл, хавтгай дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэр, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт.
Холбогдох процессууд: плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал (PECVD), плазмын сийлбэр, плазмын цэвэрлэгээ, радио давтамжийн ионы эх үүсвэр, плазмын тархалт, плазмын полимержилт, реактив цацалт гэх мэт.