RF цахилгаан хангамж
-
RLS цуврал RF тэжээлийн хангамж
RLS цуврал RF-ийн тэжээлийн хангамж нь одоогийн тогтвортой, найдвартай цахилгаан өсгөгч болон компанийн үндсэн тогтмол гүйдлийн хяналтын системийг ашигладаг бөгөөд ингэснээр бүтээгдэхүүн нь маш тогтвортой гүйцэтгэлтэй, өндөр найдвартай ажиллагаатай байдаг.Хятад, англи дэлгэцийн интерфейсийг ашиглахад хялбар.Фотоволтайк үйлдвэрлэл, хавтгай дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэр, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт.
-
RMA цуврал тааруулагч
Энэ нь RLS цувралын RF-ийн тэжээлийн хангамжид тохируулж болох бөгөөд плазмын сийлбэр, бүрэх, плазмыг цэвэрлэх, плазмыг цэвэрлэх болон бусад процессуудад өргөн хэрэглэгддэг.Үүнийг дангаар нь ашиглах үед бусад үйлдвэрлэгчдийн RF-ийн тэжээлийн эх үүсвэртэй хамт ашиглаж болно.
-
RHH цуврал RF тэжээлийн хангамж
RHH цувралын RF-ийн цахилгаан хангамж нь хэрэглэгчдэд илүү их хүч чадал, өндөр нарийвчлал, хурдан хариу үйлдэл үзүүлэх RF-ийн тэжээлийн хангамжийг хангахын тулд боловсорсон RF үүсгэх технологид тулгуурладаг.Фазын тусламжтайгаар импульсийг хянах, дижитал тааруулах болон бусад функцуудыг тохируулах боломжтой.Холбогдох салбар: фотоволтайк үйлдвэрлэл, хавтгай дэлгэцийн үйлдвэрлэл, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, химийн үйлдвэр, лаборатори, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрлэл гэх мэт.
Холбогдох процессууд: плазмын сайжруулсан химийн уурын хуримтлал (PECVD), плазмын сийлбэр, плазмын цэвэрлэгээ, радио давтамжийн ионы эх үүсвэр, плазмын тархалт, плазмын полимержилт, реактив цацалт гэх мэт.