RMA цуврал тааруулагч
-
RMA цуврал тааруулагч
Энэ нь RLS цувралын RF-ийн тэжээлийн хангамжид тохируулж болох бөгөөд плазмын сийлбэр, бүрэх, плазмыг цэвэрлэх, плазмыг цэвэрлэх болон бусад процессуудад өргөн хэрэглэгддэг.Үүнийг дангаар нь ашиглах үед бусад үйлдвэрлэгчдийн RF-ийн тэжээлийн эх үүсвэртэй хамт ашиглаж болно.